特長
DPシリーズで確立した、除電・除塵機能を小さな設置面積で手軽に扱うことので きるよう工夫した、簡易型の「手動異物除去装置」で、除塵工アーの発生装置・集塵 装置も内蔵したコンパクトな除塵装置です。
仕様
型式 | DM-1型 | DML-1型 |
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製品の大きさ | 最大 220mm(A)×220mm(B)×70mm(H) |
最大 350mm(A)×350mm(B)×40mm(H) |
最小 70mm(A)×70mm(B)×10mm(H) |
最小 200mm(A)×200mm(B)×10mm(H) |
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製品の積み重ね高さ | 100~600mm(L) | 100~500mm(L) |
集積製品の スタッキングピッチ |
1~10 mm(C) |